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题名/责任者:

The science and engineering of microelectronic fabrication = 微电子制造科学原理与工程技术 / Stephen A. Campbell著.

版本说明:

2nd ed.

出版发行项:

Beijing : Publishing House of Electronics Industry, 2003.

ISBN:

7505386263 (pbk.)

载体形态项:

14, 603 p. : ill. ; 24 cm.

变异题名:

微电子制造科学原理与工程技术

丛编题名:

国外电子与通信教材系列

个人责任者:

Campbell, Stephen A., 1954-

论题主题:

Semiconductors-Design and construction.

中图法分类号:

TN405

中图法分类号:

TN302

科图法分类号:

73.7515

书目附注:

Includes bibliographical references and index.

原版附注:

Reprint. Originally published: New York : Oxford University Press, 2001. 2nd ed. 0195136055.

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