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MARC状态:审校 文献类型:日文图书 浏览次数:55

题名/责任者:
スパッタ法による薄膜作成技術:装置の取扱い·膜の測定·評価と各種応用の実際:総合技術資料集
出版发行项:
東京:経営開発センター出版部,1985.6
载体形态项:
271p;31cm
其它题名:
装置の取扱い·膜の測定·評価と各種応用の実際
其它题名:
総合技術資料集
个人责任者:
経営開発センター出版部
中图法分类号:
TN304.055
一般附注:
***記述は遡及データによる
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索书号 条码号 年卷期 馆藏地 书刊状态 还书位置
TN304.055/J2 J000047589 1985.6  外文阅览区     可借 外文阅览区
TN304.055/J2 J000047591 1985.6  外文阅览区     可借 外文阅览区
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