机读格式显示(MARC)

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• 001 0000328946

• 005 20180522144600.0

• 035 __ |a (NII)BA7502600X

• 100 __ |a 20060120d1985 km y0jpny50 da

• 101 0_ |a jpn

• 102 __ |a JP

• 105 __ |a y z 001yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a スパッタ法による薄膜作成技術 |A スパッタホウ ニヨル ウスマク サクセイ ギジュツ |e 装置の取扱い·膜の測定·評価と各種応用の実際 |e 総合技術資料集

• 210 __ |a 東京 |c 経営開発センター出版部 |d 1985.6

• 215 __ |a 271p |d 31cm

• 300 __ |a ***記述は遡及データによる

• 517 1_ |a 装置の取扱い·膜の測定·評価と各種応用の実際 |A ソウチ ノ トリアツカイ マク ノ ソクテイ ヒョウカ ト カクシュ オウヨウ ノ ジッサイ

• 517 1_ |a 総合技術資料集 |A ソウゴウ ギジュツ シリョウシュウ

• 690 __ |a TN304.055 |v 5

• 701 _0 |a 経営開発センター出版部 |A ケイエイ カイハツ センター シュッパンブ

• 801 _0 |a JP |b NII |c 20060120

• 905 __ |a LJUZC |d TN304.055/J2

• 920 __ |a 222016 |z 2