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- 题名/责任者:
- 半导体制造工艺基础/(美) 施敏, 梅凯瑞著 陈军宁, 柯导明, 孟坚译
- 出版发行项:
- 合肥:安徽大学出版社,2007
- ISBN及定价:
- 978-7-81110-292-5/CNY23.00
- 载体形态项:
- 284页:图;26cm
- 个人责任者:
- 施敏 (Sze, S. M.), 1936- 著
- 个人责任者:
- 梅凯瑞 (May, Gary S.) 著
- 个人次要责任者:
- 陈军宁 译
- 个人次要责任者:
- 柯导明 译
- 个人次要责任者:
- 孟坚 译
- 学科主题:
- 半导体工艺
- 中图法分类号:
- TN305
- 书目附注:
- 有书目和索引
- 提要文摘附注:
- 本书介绍了从晶体生长到集成器件和电路的完整的半导体制造技术，其中包括制造流程中主要步骤的理论和实践经验。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TN305/1 | C000728136 | 2007 |  理科阅览区
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可借 | 总服务台 |
| TN305/1 | C000728139 | 2007 | 理科阅览区
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可借 | 总服务台 |
| TN305/1 | C000763248 | 2007 | 理科阅览区
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可借 | 总服务台 |
| TN305/1 | C001228721 | 2007 | 理科阅览区
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可借 | 总服务台 |
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