MARC状态：审校 文献类型：日文图书 浏览次数：67
- 题名/责任者:
- 「半導体立国」日本:独創的な装置が築きあげた記録/日本半導体製造装置協会編
- 出版发行项:
- 東京:日刊工業新聞社,1991.11
- ISBN及定价:
- 4526030422/2000円
- 载体形态项:
- xii, 403p;20cm
- 其它题名:
- 独創的な装置が築きあげた記録
- 团体责任者:
- 日本半導体製造装置協会
- 学科主题:
- 半導体
- 学科主题:
- 半導体
- 其他分类号:
- 549.8
- 中图法分类号:
- TN304
- 一般附注:
- 監修: 垂井康夫
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TN304/J2 | J000058198 | 1991.11 |  外文阅览区
|
可借 | 外文阅览区 |
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