机读格式显示(MARC)
- 000 00970nam0 2200301 450
- 010 __ |a 4526030422 |d 2000円
- 035 __ |a (NII)BN07021660
- 099 __ |a CAL 032008013892
- 100 __ |a 19920111d1991 km y0jpny50 da
- 200 1_ |a 「半導体立国」日本 |A ハンドウタイ リッコク ニホン |e 独創的な装置が築きあげた記録 |f 日本半導体製造装置協会編
- 210 __ |a 東京 |c 日刊工業新聞社 |d 1991.11
- 215 __ |a xii, 403p |d 20cm
- 517 1_ |a 独創的な装置が築きあげた記録 |A ドクソウテキ ナ ソウチ ガ キズキアゲタ キロク
- 606 0_ |a 半導体 |A ハンドウタイ |2 BSH
- 606 0_ |a 半導体 |A ハンドウタイ |2 NDLSH
- 711 02 |a 日本半導体製造装置協会 |A ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ |3 DA02628777
- 801 _0 |a JP |b NII |c 20031104
- 905 __ |a LJUZC |d TN304/J2