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MARC状态:审校 文献类型:中文图书 浏览次数:75

题名/责任者:
动态微机电系统:理论与应用/何广平 ... [等] 编著
出版发行项:
北京:科学出版社,2012
ISBN及定价:
978-7-03-034316-1/CNY80.00
载体形态项:
384页:图;24cm
其它题名:
理论与应用
个人责任者:
何广平 编著
个人责任者:
赵明 编著
个人责任者:
赵全亮 编著
个人责任者:
刘峰斌 编著
学科主题:
微电机
中图法分类号:
TM38
题名责任附注:
题名页题其余责任者: 赵明, 赵全亮, 刘峰斌
书目附注:
有书目
提要文摘附注:
本书共6章, 主要内容包括: 动态MEMS主要技术领域的简况 ; 动态MEMS中常用的功能材料及其制备方法 ; 动态MEMS器件的主要设计方法及其发展现状等。
全部MARC细节信息>>
索书号 条码号 年卷期 馆藏地 书刊状态
TM38/8 C001282872 2012  理科阅览区     可借
TM38/8 C001282873 2012  理科阅览区     可借
TM38/8 C001282874 2012  理科阅览区     可借
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