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• 001 0000230466

• 005 20131227111700.0

• 010 __ |a 978-7-03-034316-1 |d CNY80.00

• 100 __ |a 20120702d2012 em y0chiy50 ea

• 101 0_ |a chi

• 102 __ |a CN |b 110000

• 105 __ |a ak a 000yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 动态微机电系统 |A dong tai wei ji dian xi tong |e 理论与应用 |f 何广平 ... [等] 编著

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2012

• 215 __ |a 384页 |c 图 |d 24cm

• 304 __ |a 题名页题其余责任者: 赵明, 赵全亮, 刘峰斌

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书共6章, 主要内容包括: 动态MEMS主要技术领域的简况 ; 动态MEMS中常用的功能材料及其制备方法 ; 动态MEMS器件的主要设计方法及其发展现状等。

• 517 1_ |a 理论与应用 |A li lun yu ying yong

• 606 0_ |a 微电机 |A wei dian ji

• 690 __ |a TM38 |v 5

• 701 _0 |a 何广平 |A he guang ping |4 编著

• 701 _0 |a 赵明 |A zhao ming |4 编著

• 701 _0 |a 赵全亮 |A zhao quan liang |4 编著

• 701 _0 |a 刘峰斌 |A liu feng bin |4 编著

• 801 _0 |a CN |b RENTIAN |c 20120702

• 905 __ |a LJUZC |d TM38/8

• 920 __ |a 222016 |z 1