MARC状态：订购 文献类型：中文图书 浏览次数：8
- 题名/责任者:
- 微加工技术工艺原理与实验/陈军[等]编著
- 出版发行项:
- 北京:清华大学出版社,2024.06
- ISBN及定价:
- 9787302661214/69
- 载体形态项:
- 247页;26cm+图
- 中图法分类号:
- TG66
- 提要文摘附注:
- 本书共分6篇12章，系统介绍了微加工技术工艺原理和实验教程。本书内容理论和实验相结合，涵盖了微加工技术工艺中的光刻、刻蚀、薄膜沉积、氧化和掺杂等工艺。理论部分着重对各种工艺技术的原理进行阐述。实验部分列举了光刻、刻蚀、薄膜制备和掺杂四大类工艺的单项实验，器件制造工艺实验和器件特性测量实验。
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