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- 010 __ |a 9787302661214 |d 69
- 100 __ |a 20241024d2024 ekmy0chiy50 ea
- 200 0_ |a 微加工技术工艺原理与实验 |f 陈军[等]编著
- 210 __ |c 清华大学出版社 |a 北京 |d 2024.06
- 215 __ |a 247页 |d 26cm |e 图
- 330 __ |a 本书共分6篇12章，系统介绍了微加工技术工艺原理和实验教程。本书内容理论和实验相结合，涵盖了微加工技术工艺中的光刻、刻蚀、薄膜沉积、氧化和掺杂等工艺。理论部分着重对各种工艺技术的原理进行阐述。实验部分列举了光刻、刻蚀、薄膜制备和掺杂四大类工艺的单项实验，器件制造工艺实验和器件特性测量实验。