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题名/责任者:

微电子工艺实验教程/王珏主编 姚健, 刘立, 杨旸副主编

出版发行项:

北京:电子工业出版社,2025

ISBN及定价:

978-7-121-50690-1/CNY45.00

载体形态项:

161页:图 (部分彩图);26cm

丛编项:

集成电路科学与工程系列教材

个人责任者:

王珏 主编

个人次要责任者:

姚健 副主编

个人次要责任者:

刘立 副主编

个人次要责任者:

杨旸 副主编

学科主题:

微电子技术-实验-高等学校-教材

中图法分类号:

TN4-33

责任者附注:

王钰, 浙大城市学院信息与电气工程学院副教授、浙江大学/浙江工业大学硕导, 近年的研究方向侧重于碳化硅功率器件、功率集成芯片、电源管理集成芯片设计与研究工作。

书目附注:

有书目 (第161页)

提要文摘附注:

本书精心设计了12个实验, 包括1个工艺仿真基础实验、6个单步工艺实验和5个成套工艺实验。

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