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• 010 __ |a 978-7-121-50690-1 |d CNY45.00

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• 200 1_ |a 微电子工艺实验教程 |A wei dian zi gong yi shi yan jiao cheng |f 王珏主编 |g 姚健, 刘立, 杨旸副主编

• 210 __ |a 北京 |c 电子工业出版社 |d 2025

• 215 __ |a 161页 |c 图 (部分彩图) |d 26cm

• 225 2_ |a 集成电路科学与工程系列教材 |A ji cheng dian lu ke xue yu gong cheng xi lie jiao cai

• 314 __ |a 王钰, 浙大城市学院信息与电气工程学院副教授、浙江大学/浙江工业大学硕导, 近年的研究方向侧重于碳化硅功率器件、功率集成芯片、电源管理集成芯片设计与研究工作。

• 320 __ |a 有书目 (第161页)

• 330 __ |a 本书精心设计了12个实验, 包括1个工艺仿真基础实验、6个单步工艺实验和5个成套工艺实验。

• 410 _0 |1 2001 |a 集成电路科学与工程系列教材

• 606 0_ |a 微电子技术 |A wei dian zi ji shu |x 实验 |x 高等学校 |j 教材

• 690 __ |a TN4-33 |v 5

• 701 _0 |a 王珏 |A Wang Jue |4 主编

• 702 _0 |a 姚健 |A Yao Jian |4 副主编

• 702 _0 |a 刘立 |A Liu Li |4 副主编

• 702 _0 |a 杨旸 |A Yang Yang |4 副主编

• 801 _0 |a CN |b 辽宁北配 |c 20250208

• 905 __ |a LJUZC |d TN4-33/2

• 920 __ |a 222016 |z 1