MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：55
- 题名/责任者:
- 微机电器件设计、仿真及工程应用/郭占社, 周富强编著
- 出版发行项:
- 北京:北京航空航天大学出版社,2021
- ISBN及定价:
- 978-7-5124-3456-1/CNY49.00
- 载体形态项:
- 222页;24cm
- 个人责任者:
- 郭占社 编著
- 个人责任者:
- 周富强 编著
- 学科主题:
- 微电子技术
- 中图法分类号:
- TN4
- 一般附注:
- 高等学校通用教材
- 提要文摘附注:
- 本书针对微机电系统基础理论、关键问题及常用硅微机械器件做了详细介绍。在此基础上, 以微机电系统中常用的核心器件为对象, 结合大量工程实例, 采用Ansys软件, 详细介绍了采用有限元仿真技术对其设计可行性进行验证的方法, 包括结构的静力学仿真、模态仿真、静电仿真、热力学仿真以及疲劳仿真等, 为相关研究在有限元仿真技术方面提供一定的技术支持。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TN4/29 | C001549140 | 2021 |  理科阅览区
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可借 | 理科阅览区 |
| TN4/29 | C001549141 | 2021 | 理科阅览区
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可借 | 理科阅览区 |
| TN4/29 | C001549142 | 2021 | 理科阅览区
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可借 | 理科阅览区 |
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