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• 010 __ |a 978-7-5124-3456-1 |d CNY49.00

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• 200 1_ |a 微机电器件设计、仿真及工程应用 |A wei ji dian qi jian she ji 、fang zhen ji gong cheng ying yong |f 郭占社, 周富强编著

• 210 __ |a 北京 |c 北京航空航天大学出版社 |d 2021

• 215 __ |a 222页 |d 24cm

• 300 __ |a 高等学校通用教材

• 330 __ |a 本书针对微机电系统基础理论、关键问题及常用硅微机械器件做了详细介绍。在此基础上, 以微机电系统中常用的核心器件为对象, 结合大量工程实例, 采用Ansys软件, 详细介绍了采用有限元仿真技术对其设计可行性进行验证的方法, 包括结构的静力学仿真、模态仿真、静电仿真、热力学仿真以及疲劳仿真等, 为相关研究在有限元仿真技术方面提供一定的技术支持。

• 606 0_ |a 微电子技术 |A wei dian zi ji shu

• 690 __ |a TN4 |v 5

• 701 _0 |a 郭占社 |A guo zhan she |4 编著

• 701 _0 |a 周富强 |A zhou fu qiang |4 编著

• 801 _0 |a CN |b 湖北三新 |c 20221212

• 905 __ |a LJUZC |d TN4/29

• 920 __ |a 222016 |z 1