MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：53
- 题名/责任者:
- 薄膜物理与技术/杨邦朝,王文生编著
- 出版发行项:
- 成都:电子科技大学出版社,1994
- ISBN及定价:
- 7-81016-749-9/CNY16.00
- 载体形态项:
- 237页;26cm
- 个人责任者:
- 杨邦朝 编著
- 个人责任者:
- 王文生 编著
- 学科主题:
- 薄膜物理学-高等学校-教材
- 中图法分类号:
- O484
- 一般附注:
- 高等学校教材
- 责任者附注:
- 杨邦朝,电子科技大学任教
- 责任者附注:
- 王文生,天津大学任教
- 书目附注:
- 有书目(第237页)
- 提要文摘附注:
- 本书主要论述了薄膜的制造技术与薄膜物理的基本内容,包括:各种成膜技术的基本原理与方法、化学气相沉积、膜厚的测量与监控等。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| O484/1 | C000355658 | 1994 |  理科阅览区
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可借 | 总服务台 |
| O484/1 | C000355659 | 1994 | 理科阅览区
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可借 | 总服务台 |
| O484/1 | C000355660 | 1994 | 理科阅览区
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可借 |
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