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- 200 1_ |a 薄膜物理与技术 |A bo mo wu li yu ji shu |f 杨邦朝,王文生编著
- 210 __ |a 成都 |c 电子科技大学出版社 |d 1994
- 330 __ |a 本书主要论述了薄膜的制造技术与薄膜物理的基本内容,包括:各种成膜技术的基本原理与方法、化学气相沉积、膜厚的测量与监控等。
- 606 0_ |a 薄膜物理学 |A Bo Mo Wu Li Xue |x 高等学校 |j 教材
- 701 _0 |a 杨邦朝 |A yang bang zhao |4 编著
- 701 _0 |a 王文生 |A wang wen sheng |4 编著
- 801 _0 |a CN |b NLC |c 19940517
- 801 _2 |a CN |b LJUZC |c 20051107
- 905 __ |a LJUZC |d O484/1