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题名/责任者:

微电子工艺原理与技术/田丽...[等]主编

出版发行项:

哈尔滨:哈尔滨工业大学出版社,2021

ISBN及定价:

978-7-5603-9067-3/CNY78.00

载体形态项:

438页:图;26cm

并列正题名:

Microelectronics processing principle and technology

个人责任者:

田丽, 1973- 主编

个人责任者:

王蔚, 1960- 主编

个人责任者:

刘红梅, 1976- 主编

个人责任者:

任明远, 1978- 主编

学科主题:

微电子技术

中图法分类号:

TN4

一般附注:

“双一流”建设精品出版工程

题名责任附注:

题名页题其余责任者: 王蔚, 刘红梅, 任明远

责任者附注:

田丽, 黑龙江省哈尔滨市人, 1973年生, 工学博士。王蔚, 上海市人, 1960年生, 工学博士。刘红梅, 辽宁省大连市人, 1976年生, 工学博士。任明远, 黑龙江省哈尔滨市人, 1978年生, 工学博士。

书目附注:

有书目 (第412-414页)

提要文摘附注:

本书分五篇, 硅衬底、氧化与掺杂、薄膜制备、光刻技术、工艺集成与封装测试。内容包括: 单晶硅特征 ; 硅片的制备 ; 外延 ; 热氧化 ; 扩散 ; 离子注入 ; 化学气相淀积等。

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