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• 200 1_ |a LSIプロセス工学 |A LSI プロセス コウガク |f 右高正俊編著 |g 鈴木道夫 [ほか] 共著

• 210 __ |a 東京 |c オーム社 |d 1982.10

• 215 __ |a 212p |d 22cm

• 320 __ |a 参考文献:各章末

• 606 0_ |a 集積回路 |A シュウセキカイロ |2 NDLSH

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• 701 _0 |a 右高正俊 |A ミギタカ マサトシ |3 DA01510104

• 702 _0 |a 鈴木道夫, |A スズキ ミチオ |f 1937- |3 DA01630456

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