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- 010 __ |a 978-7-03-055333-1 |d CNY38.00
- 100 __ |a 20180121d2017 em y0chiy50 ea
- 200 1_ |a 基于脉冲激光沉积富硼B-C薄膜的关键技术研究 |A ji yu mai chong ji guang chen ji fu peng B-Cbao mo de guan jian ji shu yan jiu |f 章嵩著
- 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2017
- 215 __ |a 90页 |c 图 |d 24cm
- 225 2_ |a 博士后文库 |A bo shi hou wen ku
- 330 __ |a 本书旨在利用脉冲激光沉积技术, 将其分别采用碳化硼陶瓷靶与硼-碳拼合靶为靶材。通过对靶材成分、组成形式及沉积温度等工艺参数的调整, 得到表面平整、厚度均匀及成分可控的富硼B-C薄膜, 建立靶材成分、组成形式及沉积温度等工艺参考与薄膜组成、结构之间的关系, 对该系列薄膜的生长机理进行分析研究。
- 606 0_ |a 脉冲激光器 |A mai chong ji guang qi |x 激光淀积 |x 碳化物陶瓷 |x 薄膜技术 |x 研究
- 701 _0 |a 章嵩 |A zhang song |4 著
- 801 _0 |a CN |b 湖北三新 |c 20180818
- 905 __ |a LJUZC |d TQ174.75/8