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• 000 01614nam 2200325 450

• 001 0000453629

• 005 20230911095000.0

• 010 __ |a 978-7-111-72041-6 |d CNY99.00

• 100 __ |a 20230316d2023 em y0chiy50 ea

• 101 0_ |a chi

• 102 __ |a CN |b 110000

• 105 __ |a ak a 000yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 一本书读懂芯片制程设备 |A yi ben shu du dong xin pian zhi cheng she bei |f 王超 ... [等] 编著

• 210 __ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 2023

• 215 __ |a 254页 |c 图 (部分彩图) |d 24cm

• 225 2_ |a 集成电路科学与技术丛书 |A ji cheng dian lu ke xue yu ji shu cong shu

• 304 __ |a 题名页题: 王超, 姜晶, 牛夷, 王刚编著

• 314 __ |a 王超, 清华大学精密仪器系教授, 国家级人才称号获得者。先后在世界知名的半导体设备制造公司、半导体代工厂和国内外高等研究院所工作和学习过。

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书是围绕集成电路芯片发展和新一代信息产业技术领域 (集成电路及专用设备) 等重大需求, 编著的集成电路芯片制程设备通识书籍。集成电路芯片作为信息时代的基石, 是各国竞相角逐的“国之重器”, 也是一个国家高端制造能力的综合体现。芯片制程设备作为集成电路产业链的最上游, 贯穿于芯片制造全过程, 是决定产业发展的最关键一环。本书首先介绍了集成电路芯片制程及其设备, 并着重分析了芯片制程设备的国内外市场环境; 然后, 针对具体工艺技术涉及设备, 详细综述了设备原理及市场情况; 最后对我国集成电路芯片制程设备的发展做了总结展望。

• 410 _0 |1 2001 |a 集成电路科学与技术丛书

• 606 0_ |a 芯片 |A xin pian |x 工业生产设备

• 690 __ |a TN43 |v 5

• 701 _0 |a 王超 |A wang chao |4 编著

• 701 _0 |a 姜晶 |A jiang jing |4 编著

• 701 _0 |a 牛夷 |A niu yi |4 编著

• 801 _0 |a CN |b 湖北三新 |c 20230603

• 905 __ |a LJUZC |d TN43/14

• 920 __ |a 222016 |z 1