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• 010 __ |a 978-7-122-45151-4 |b 精装 |d CNY198.00

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• 200 1_ |a 光刻技术 |A guang ke ji shu |f 林本坚著 |d = Optical lithography |e here is why |f Burn J. Lin |g 严天宏译 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 化学工业出版社 |d 2024

• 215 __ |a 369页 |c 图 (部分彩图) |d 27cm

• 305 __ |a 译自原书第2版

• 306 __ |a 本书中文版由SPIE授权化学工业出版社出版发行

• 314 __ |a 林本坚 (Burn J. Lin), 博士, 是台湾清华大学 (清大) 特聘研究讲座教授和台积电 (TSMC)-清大联合研发中心主任。2000年加入台积电担任资深处长, 2011年至2015年担任副总经理和杰出科技院士。

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书旨在帮助读者掌握驱动光学光刻的基本方程和常数的相关知识, 学习曝光系统和图像形成的基础理论, 并了解光刻系统组件、处理和优化的相关知识; 读者还可掌握光学光刻技术的前景和总体情况, 加强对半导体制造技术的认知; 还添加了接近印刷方面的全新材料, 以及曝光系统、图像形成、E-D方法、硬件组件、处理和优化方面的更新和扩展材料, 以及EUV技术和最新的浸没式光刻相关技术。

• 500 10 |a Optical lithography : here is why |A Optical Lithography : Here Is Why |m Chinese

• 606 0_ |a 光刻系统 |A guang ke xi tong

• 690 __ |a TN305.7 |v 5

• 701 _0 |a 林本坚 |A lin ben jian |g (Lin, Burn J.) |4 著

• 702 _0 |a 严天宏 |A yan tian hong |4 译

• 801 _0 |a CN |b 湖北三新 |c 20241105

• 905 __ |a LJUZC |d TN305.7/8

• 920 __ |a 222016 |z 1