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• 200 1_ |a 微纳制造前沿应用 |A wei na zhi zao qian yan ying yong |f 郝秀清主编

• 210 __ |a 北京 |c 北京工业大学出版社 |d 2020

• 215 __ |a 178页 |c 图 |d 24cm

• 300 __ |a 南京航空般天大学规划 (重点) 教材资助项目

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书主要介绍了微纳制造技术的概念、内涵、主要应用, 微纳制造技术的研究范围, 微纳制造技术的发展历史, 微纳制造技术发挥的作用以及发展趋势。内容包括: MEMS技术及其应用 ; 精密超精密加工技术等。

• 606 0_ |a 纳米技术 |A na mi ji shu |x 研究

• 690 __ |a TB383 |v 5

• 701 _0 |a 郝秀清 |A hao xiu qing |4 主编

• 801 _0 |a CN |b 人天书店 |c 20200717

• 905 __ |a LJUZC |d TB383/112

• 920 __ |a 222016 |z 1