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• 200 1_ |a 微电机结构工艺学 |A wei dian ji jie gou gong yi xue |f 张子忠，王铁成编著

• 205 __ |a 第2版 |b 修订版

• 210 __ |a 哈尔滨 |c 哈尔滨工业大学出版社 |d 1997

• 215 __ |a 299页 |d 26cm

• 606 0_ |a 微电机 |x 工艺学

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• 690 __ |a TM38 |v 4

• 701 _0 |a 张子忠 |A zhang zi zhong |4 编著

• 701 _0 |a 王铁成 |A wang tie cheng |4 编著

• 801 _0 |a CN |b NLC |c 19980630

• 801 _2 |a CN |b LJUZC |c 20051117

• 905 __ |a LJUZC |d TM38/4

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