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- 题名/责任者:
- 真空镀膜技术与应用/陆峰编著
- 出版发行项:
- 北京:化学工业出版社,2022
- ISBN及定价:
- 978-7-122-40245-5/CNY138.00
- 载体形态项:
- 335页:图;26cm
- 个人责任者:
- 陆峰 编著
- 学科主题:
- 真空技术-镀膜
- 中图法分类号:
- TN305.8
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书共9章, 主要阐述了真空镀膜技术应用, 具体介绍了近代真空镀膜方法。内容包括真空蒸发镀膜, 真空溅射镀膜, 真空离子镀膜, 离子束 (辅助) 沉积, 化学气相沉积的原理、特点、装置及应用; 本书还对所制备薄膜的测量技术、性能分析方法做了详细的介绍。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TN305.8/1 | C001492718 | 2022 | 理科阅览区
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可借 | 总服务台 |
| TN305.8/1 | C001492719 | 2022 | 理科阅览区
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可借 | 总服务台 |
| TN305.8/1 | C001492720 | 2022 | 理科阅览区
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可借 | 理科阅览区 |
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