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MARC状态:审校 文献类型:中文图书 浏览次数:52

题名/责任者:
微机电系统设计及应用探究/吴倩楠著
出版发行项:
长春:吉林科学技术出版社,2021
ISBN及定价:
978-7-5578-8047-7/CNY86.00
载体形态项:
177页:图;26cm
个人责任者:
吴倩楠 著
学科主题:
微电机-系统设计-应用-研究
中图法分类号:
TM380.2
书目附注:
有书目 (第175-177页)
提要文摘附注:
《微机电系统设计及应用探究》一书中讲述的微机电系统涉及多学科交叉, 具有能够在狭小空间内进行作业而又不扰乱工作环境的特点, 有着广泛的应用前景。本书结合当前微机电系统的科学研究, 对微机电系统原理和设计、微细加工技术、相关的检测技术以及微机电系统的应用等内容进行了介绍, 使读者对微机电系统的设计与制造有一个比较完整的了解, 为开展微机电系统的研究奠定必要的基础。
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TM380.2/1 C001617723 2021  理科阅览区     可借 总服务台
TM380.2/1 C001617724 2021  理科阅览区     可借 理科阅览区
TM380.2/1 C001617725 2021  理科阅览区     可借 理科阅览区
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