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题名/责任者:

MEMS系统级建模/(德) 塔玛拉·贝克唐德, 加布里尔·施拉德, 冯丽红著/Tamara Bechtold, Gabriele Schrag, Lihong Feng 周再发, 李伟华, 黄庆安译

出版发行项:

南京:东南大学出版社,2020

ISBN及定价:

978-7-5641-7263-3/CNY89.00

载体形态项:

11, 12, 442页:图;24cm

统一题名:

System-level modeling of MEMS

丛编项:

微纳系统系列译丛

个人责任者:

贝克唐德 (Bechtold, Tamara) 著

个人责任者:

施拉德 (Schrag, Gabriele) 著

个人责任者:

冯丽红 著

个人次要责任者:

周再发 译

个人次要责任者:

李伟华 译

个人次要责任者:

黄庆安 译

学科主题:

微机电系统-系统建模

中图法分类号:

TH-39

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书是目前国内外唯一叙述微机电系统 (MEMS) 系统级建模的专著。MEMS技术的发展对快速、高效及合适的设计工具提出了迫切的需求, 以便优化包括MEMS元件、控制、读出电路以及封装在内的完整系统性能。针对系统设计及优化需求, 本书分5部分全面论述了MEMS系统级建模技术。

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