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题名/责任者:

MEMS压力传感器理论与技术/蒋庄德等著

出版发行项:

北京:高等教育出版社,2023

ISBN及定价:

978-7-04-060468-9 精装/CNY99.00

载体形态项:

358页, [26] 页图版:图;27cm

并列正题名:

Theories and technologies of MEMS pressure sensors

丛编项:

先进制造与智能制造前沿技术丛书

丛编项:

机械工程前沿著作系列

个人责任者:

蒋庄德, 1955- 著

学科主题:

压力传感器

中图法分类号:

TP212

一般附注:

“十四五”国家重点出版物出版规划项目

出版发行附注:

国家科学技术著作出版基金资助出版

提要文摘附注:

本书共13章, 主要内容包括: 绪论、MEMS压力传感器基础理论、MEMS压力传感器硅微工艺、SOI耐高温阻式压力传感器、微型压力传感器、高频压力传感器、谐振式压力传感器等。

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