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题名/责任者:

薄膜物理与技术/沈杰, 梅永丰等编著

出版发行项:

北京:化学工业出版社,2024

ISBN及定价:

978-7-122-44676-3/CNY66.00

载体形态项:

241页:图;26cm

并列正题名:

Thin film physics and technology

个人责任者:

沈杰 编著

个人责任者:

梅永丰 编著

学科主题:

薄膜-表面物理学-高等学校-教材

学科主题:

薄膜技术-高等学校-教材

中图法分类号:

O484

中图法分类号:

TB43

一般附注:

国家级一流本科专业建设成果教材

书目附注:

有书目 (第235-241页)

提要文摘附注:

本书主要阐述了薄膜物理与薄膜技术的基础理论知识, 重点讲述了薄膜生长基础, 薄膜生长技术 (包括蒸发镀膜、溅射镀膜、离子镀与离子束沉积、化学气相沉积、原子层沉积、溶液沉积以及纳米薄膜组装等), 并对薄膜的基本性质与检测方法及与光、电等领域的重点薄膜材料及应用进行了介绍。

使用对象附注:

教育部高等学校材料类专业教学指导委员会规划教材

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