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题名/责任者:

MEMS技术及其应用/李德胜 ... [等] 编著

出版发行项:

哈尔滨:哈尔滨工业大学出版社,2002

ISBN及定价:

7-5603-1694-8/CNY18.00

载体形态项:

305页:图;21cm

展开题名(连续出版物):

Micro electro mecjanical systems技术及其应用

个人责任者:

李德胜 编著

个人责任者:

王东红 编著

个人责任者:

孙金玮 编著

个人责任者:

金鹏 编著

学科主题:

微电机

中图法分类号:

TM38

一般附注:

国家自然科学基金资助课题 哈尔滨工业大学研究成果专著基金资助出版

题名责任附注:

本书编著李德胜、王东红、孙金玮、金鹏。

书目附注:

有书目 (第298-301页)

提要文摘附注:

本书共分八章，在概述微机电技术(MEMS)的发展背景、现状及应用前景的基础上，介绍了MEMS基本理论，随后对MEMS相关工艺做了详尽的讲述。具体内容有: 绪论, MEMS基础理论、微机械制造技术、MEMSCAAD辅助分析设计, 微传感器、微操作器、微机电系统、生物芯片。

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