MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：1
- 题名/责任者:
- 微电子制造技术概论/严利人, 周卫, 刘道广编著
- 出版发行项:
- 北京:清华大学出版社,2010
- ISBN及定价:
- 978-7-302-20818-1/CNY19.00
- 载体形态项:
- 164页:图;26cm
- 丛编项:
- 微电子与集成电路技术丛书
- 个人责任者:
- 严利人 （电子技术） 编著
- 个人责任者:
- 周卫 编著
- 个人责任者:
- 刘道广 编著
- 学科主题:
- 微电子技术-概论
- 中图法分类号:
- TN4
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书介绍集成电路制造技术，涉及制造流程和各具体的单项工艺技术。内容包括：概论、各单项工艺技术、直接与流程实施相联系的集成电路制造作业调度技术等。
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