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题名/责任者:

高频宽带体声波滤波器技术/李国强著

出版发行项:

北京:科学出版社,2024

ISBN及定价:

978-7-03-078688-3 精装/CNY218.00

载体形态项:

xi, 377页:图 (部分彩图);25cm

丛编项:

半导体科学与技术丛书;33

个人责任者:

李国强 著

学科主题:

高频-声波-滤波器

中图法分类号:

TN713

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书共8章。其中, 第1章介绍滤波器的发展史, 着重分析射频滤波器的种类及体声波滤波器的研发进展。第2、3章从体声波滤波器的物理基础出发, 基于声波的传输理论与材料的压电理论推导出器件仿真模型, 并以两款体声波滤波器的设计案例介绍设计方法的应用, 展现关键影响因素在设计过程中的调整规律。第4-6章依次介绍了AIN薄膜制备与表征方法、体声波滤波器的芯片关键制备工艺与封装技术, 结合本书作者团队的研究成果, 表明了单晶AlN体声波滤波器SABAR技术路线较多晶AlN路线的优势。第7章着重介绍体声波滤波器在民用通信、国防、传感及医学领域的应用。第8章分析与展望了体声波滤波器的前沿技术, 涉及到SABAR滤波器、温度补偿型体声波滤波器、四工器、XBAR、YBAR等。

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