MARC状态：审校 文献类型：日文图书 浏览次数：58
- 题名/责任者:
- マイクロリソグラフィー:IC,LSIはこうしてつくられる/野々垣三郎著
- 出版发行项:
- 東京:丸善,1986.10
- ISBN及定价:
- 4621031155/1200円
- 载体形态项:
- viii, 116p;19cm
- 其它题名:
- IC,LSIはこうしてつくられる
- 丛编项:
- Frontier technology series;[002]
- 个人责任者:
- 野々垣三郎 著
- 学科主题:
- フォートエッチング
- 学科主题:
- リソグラフィー
- 其他分类号:
- 749.1
- 其他分类号:
- 749.13
- 其他分类号:
- ND386
- 中图法分类号:
- TN3
- 一般附注:
- 参考書: p115-116
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TN3/J9 | J000021802 | 1986.10 |  外文阅览区
|
可借 | 外文阅览区 |
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